技術編號:2779459
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于微光學器件,涉及一種用于紅外成像的紅外可調諧濾光器及制作工藝的改進。已有技術現狀目前國際上用于紅外成像的紅外可調諧濾光器有聲光方法、Fabry-Perot方法和Fourier變頻光譜方法等,均具有高透射、寬接收角和寬可調型焦平面變頻等優(yōu)點。其共同的不足是體積過大。近幾年國外也提出了微型化結構及制作方法,由于其各部分分別采用微機械和機械方法制作,使得濾光器的制造沒有完全解決微型化、集成化過程中存在的工藝兼容這一關鍵問題。已有結構(T.R.Ohnst...
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