技術(shù)編號：2775969
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及分支光波導(dǎo)制造方法，尤其是涉及具有使用疊層技術(shù)、光刻技術(shù)和反應(yīng)性離子蝕刻技術(shù)制造高分子樹脂材料制的分支光波導(dǎo)的方法。背景技術(shù) 具有使用了高分子樹脂材料制的Y分支光波導(dǎo)構(gòu)造的Y分支光波導(dǎo)器件與石英制的分支光波導(dǎo)器件相比雖然光的傳播特性低，但卻具有生產(chǎn)效率特別優(yōu)良、制造成本也相當(dāng)?shù)偷膬?yōu)點(diǎn)，廣泛用于構(gòu)成光模塊的零部件。下面對已有的使用高分子樹脂材料的分支光波導(dǎo)器件的制造工藝予以說明。實際上，使用疊層技術(shù)和光刻技術(shù)將多個分支光波導(dǎo)以矩陣狀制作在硅晶片上，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。