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用質(zhì)子交換制造鈮酸鋰光波導(dǎo)的方法及其裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2774606

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本發(fā)明涉及一種制造光波導(dǎo)的方法及其裝置,特別是一種用質(zhì)子交換制造鈮酸鋰光波導(dǎo)的方法及其裝置。e、在進(jìn)行d步驟的同時(shí)將鈮酸鋰基片裝到石英夾具上,放入燒杯中,將裝置有鈮酸鋰基片的燒杯放入到烘箱中預(yù)熱至250℃并燒透;f、在石英管道內(nèi)的混合溶液溫度和鈮酸鋰基片溫度均達(dá)到250℃后,將裝置有鈮酸鋰基片的石英夾具迅速放入到石英管道的混合溶液中進(jìn)行質(zhì)子交換;g、通過(guò)石英拉桿對(duì)石英夾具進(jìn)行攪動(dòng),讓混合溶液和鈮酸鋰基片充分均勻接觸,依此持續(xù)進(jìn)行200分鐘的質(zhì)子交換后取出石...
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