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具有改進(jìn)光學(xué)效率的薄膜驅(qū)動(dòng)反射鏡陣列的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2764479

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本發(fā)明涉及光學(xué)投影系統(tǒng),更確切地說,涉及用于具有改進(jìn)光學(xué)效率系統(tǒng)中的M×N個(gè)薄膜驅(qū)動(dòng)反射鏡構(gòu)成的陣列。在技術(shù)上可獲得的各種視頻顯示系統(tǒng)中,光學(xué)投影系統(tǒng)是公知的能夠以大比例提供的高質(zhì)量顯示。在這種光學(xué)投影系統(tǒng)中,來自光源的光均勻地照射在由驅(qū)動(dòng)反射鏡(例如M×N個(gè))構(gòu)成的陣列上面,從而使每一塊反射鏡均同每一個(gè)驅(qū)動(dòng)器耦合。該驅(qū)動(dòng)器可以由電致移位材料制做,例如能夠響應(yīng)隨施加電場(chǎng)產(chǎn)生變形的壓電材料或者電致伸縮材料制做。來自每一塊反射鏡的反射光束,被入射在反光板(ba...
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