技術(shù)編號:2761548
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及光電芯片集成,尤其涉及高產(chǎn)量密度集成光電子器件的集成。 背景技術(shù) 圖1和圖2闡明了先有技術(shù)所使用的方法,用來附貼多個底層發(fā)射(或檢測)(也稱為“背面發(fā)射(或檢測)”)器件以形成一個集成光電芯片。根據(jù)圖1所示的方法,按照傳統(tǒng)的方法,多個激光器在晶片襯底102上生成,如多個探測器(在這里也可互換地稱為光探測器)在它們自己的或和激光器共同的晶片襯底上生成。通常,最鄰近光學(xué)器件106、108和襯底102之間結(jié)合處的襯底102的104部分,是由一種材料構(gòu)成...
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