技術(shù)編號(hào):2760434
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種旋轉(zhuǎn)臺(tái),特別涉及一種用于對(duì)晶圓片的自動(dòng)旋涂的均膠機(jī)中 的電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)。技術(shù)背景 勻膠機(jī)是通過(guò)晶圓片的旋轉(zhuǎn)使其上感光膠在晶圓片上均勻分布。在勻膠機(jī)電機(jī)旋 轉(zhuǎn)臺(tái)高速旋轉(zhuǎn)過(guò)程中,部分感光膠擴(kuò)散成飛絮狀物質(zhì),這些飛絮狀物質(zhì)通過(guò)旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的排 風(fēng)口很容易黏附在旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸上并進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部,對(duì)電機(jī)內(nèi)部及旋轉(zhuǎn)軸造成破壞,使勻膠 機(jī)維護(hù)困難,使用壽命縮短。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型提供了一種勻膠機(jī)電機(jī)旋轉(zhuǎn)臺(tái)解決了現(xiàn)有勻膠機(jī)電機(jī)旋轉(zhuǎn)臺(tái)維護(hù)困 難,使用壽命縮短的問(wèn)題。...
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