技術編號：2754955
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體，特別是一種用于光刻機的投影物鏡。 背景技術光刻設備是一種將所需圖案應用于工件上的裝置。通常是將所需圖案應用于工件上的目標部分上的裝置。光刻裝置能夠被用于例如集成電路(IC)的制造。通常，光刻設備的范圍包括但不限于集成電路制造光刻裝置、平板顯示面板光刻裝置、MEMS/M0EMS光刻裝置、先進封裝光刻裝置、印刷電路板光刻裝置、印刷電路板加工裝置以及印刷電路板器件貼裝裝置等。目前在半導體加工領域，微米級分辨率，高產(chǎn)率的投影光學系統(tǒng)需求日益增加。...
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