技術(shù)編號：2754363
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及光刻領(lǐng)域，尤其涉及用于光刻機中的硅片對準光源幅度調(diào)制裝置。 背景技術(shù)現(xiàn)有的光刻設(shè)備的硅片對準中，采用了光源幅度調(diào)制技術(shù)，其直接使用比較獨立的單元，即包括光彈晶體、壓電晶體、功率驅(qū)動單元、調(diào)制控制器，如圖1所示?，F(xiàn)有方案在實際的應用中存在以下缺點首先，通過手動調(diào)整調(diào)制控制器的操作面板上的按鈕，調(diào)整調(diào)制器的調(diào)制頻率和調(diào)制強度。但是由于儀器加工制造過程中存在的誤差，使得面板上的調(diào)整讀數(shù)與實際設(shè)置下去的調(diào)制參數(shù)也可能存在一定的誤差。影響了調(diào)制的準確性。尤...
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