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光波導(dǎo)路的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2754358

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本發(fā)明涉及一種光傳播效率高的。 背景技術(shù)公知有將上敷層的頂端成形為透鏡狀的光波導(dǎo)路(例如,專利文獻(xiàn)1)。參照圖4 說明這樣的光波導(dǎo)路的以往的制造方法。圖4是利用以往的制造方法制造光波導(dǎo)路30的 各個(gè)工序中的光波導(dǎo)路30的剖視圖。首先,如圖4的(a)所示,在基板31的正面的規(guī)定區(qū)域形成下敷層32。接著,在 下敷層32的正面形成芯33。下敷層32的形狀是與基板31的形狀大致相同并覆蓋基板31 整體的平板。芯33是用直線或曲線的細(xì)線形成圖案的。芯33成為光的通路...
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