技術(shù)編號：2753977
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本申請是申請?zhí)枮?00580002241.9(國際申請?zhí)朠CT/EP2005/000320)、發(fā)明名稱為“偏振調(diào)制光學元件”的發(fā)明專利申請的分案申請。背景技術(shù) 本發(fā)明涉及影響光線偏振的光學元件。該光學元件具有厚度分布并且由具有光軸的旋光晶體組成或構(gòu)成。 在持續(xù)努力取得顯微光刻領(lǐng)域中更精細分辨率結(jié)構(gòu)的過程中，存在同時對基本上三個指導性構(gòu)思的追求。其中第一個是提供非常高的數(shù)值孔徑的投影物鏡。第二個是追求更短波長(如248nm、193nm、或157nm)的恒定趨...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。