技術(shù)編號：2752472
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及適用于狹縫涂敷的感光性樹脂組合物、采用狹縫涂敷法形成抗蝕圖案 的方法、以及平板顯示器(FPD)用基板的制造方法、由該方法制得的平板顯示器用基板和 采用它的平板顯示器。背景技術(shù)在半導(dǎo)體集成電路元件、固態(tài)圖像傳感器元件、濾色器、以及液晶顯示元件(LCD) 和等離子體顯示器(PDP)等平板顯示器(FPD)的制造過程中，感光性樹脂組合物被用于抗 蝕膜、保護膜、使元件表面平坦化的平坦化膜、保持電絕緣的絕緣膜等各種目的。感光性樹 脂組合物根據(jù)使用目的而涂敷于...
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