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用于干膜抗蝕劑的熱穩(wěn)定的光固化樹(shù)脂組合物的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2752439

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本發(fā)明涉及熱穩(wěn)定的光致固化樹(shù)脂組合物及該組合物作為干膜抗蝕劑的光敏層的用途。這種所謂的“干膜抗蝕劑”是三層膜,通過(guò)將光固化樹(shù)脂組合物夾在載體薄膜和保護(hù)膜之間制備得到。所述的光固化樹(shù)脂組合物通常是堿性顯影型的形式。顯影時(shí)用堿性水溶液除去未曝光的部分。所述干膜抗蝕劑的光敏涂層包括在紫外線曝光后產(chǎn)生顏色的成色劑。如果該抗蝕劑已經(jīng)被曝光,能使操作者很容易識(shí)別。通常的無(wú)色結(jié)晶紫或無(wú)色孔雀綠被用來(lái)作為干膜抗蝕劑的成色劑。因?yàn)樗鼈儫岱€(wěn)定性不夠充分,當(dāng)這種光固化樹(shù)脂組成物...
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