技術(shù)編號(hào)：2750187
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及光學(xué)儀器領(lǐng)域，尤其是一種新型線性衍射光柵干涉儀結(jié)構(gòu)。 背景技術(shù)大行程和高精度往往是位移傳感器設(shè)計(jì)中面臨的矛盾，傳統(tǒng)的磁柵、容柵具有大 行程測量能力，但是精度往往局限于柵距；電感、壓阻式傳感器的靈敏度和精度都較高，但 是測量范圍有限；激光干涉儀是一種常用的大行程高精度傳感器，但是價(jià)格較高，而且對(duì)環(huán) 境要求苛刻，因?yàn)榧す獠ㄩL極易受到溫度，空氣擾動(dòng)等環(huán)境因素影響。光柵式干涉測量的原理是利用運(yùn)動(dòng)的光柵產(chǎn)生兩路衍射光束，衍射光由于多普勒 效應(yīng)的作用，會(huì)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。