技術(shù)編號(hào)：2747908
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及輻射可固化的含硅樹脂組合物，它能夠用來制造半導(dǎo)體裝置的絕緣膜，和涉及利用該組合物制造一種包括固化硅氧烷產(chǎn)物和無機(jī)氧化硅的圖案的方法。在現(xiàn)有技術(shù)中已知，直接鍵接于硅原子的氫原子會(huì)與水、醇類或硅烷醇類的羥基反應(yīng)形成氫分子和硅-氧鍵，Si-O。在高溫下，甚至在沒有催化劑存在下也能進(jìn)行這一反應(yīng)；然而，普遍知道的是在過渡金屬催化劑如鉑或鈀，堿性催化劑如堿金屬氫氧化物或胺類，或路易斯酸催化劑如錫化合物的存在下該反應(yīng)進(jìn)行得更順利。此外，還已知的是，利用這一反應(yīng)...
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