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抗靜電顯微鏡的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2746783

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發(fā)明的背景本發(fā)明涉及顯微鏡,更具體地是涉及具有能使靜電電荷消散的塑料部件的顯微鏡。在制造和檢驗(yàn)半導(dǎo)體元件時(shí),要使用如1987年9月1日頒發(fā)的美國(guó)專(zhuān)利4,690,519所揭示的常規(guī)立體顯微鏡,或使用如美國(guó)專(zhuān)利4,573,771所揭示的復(fù)合顯微鏡。早期的這類(lèi)顯微鏡,除了光學(xué)部件以外,是用金屬制造的,但近年來(lái)已用塑料取代了這類(lèi)顯微鏡中許多常用的部件。這些部件的典型例子為聚焦旋鈕、變焦旋鈕、目鏡調(diào)節(jié)環(huán)、鏡體罩、以及雙筒組件蓋等,它們目前都用塑料制造。但是,雖然各制...
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