技術(shù)編號(hào)：2745094
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及含有芳香環(huán)的產(chǎn)酸劑，更具體而言，本發(fā)明涉及含有芳香環(huán)的產(chǎn)酸劑，其包含在用于半導(dǎo)體加工中的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物。 背景技術(shù) 用于利用平版印刷進(jìn)行半導(dǎo)體精細(xì)加工中的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物含有產(chǎn)酸劑，隨著支持半導(dǎo)體精細(xì)加工的技術(shù)持續(xù)發(fā)展，仍然需要具有更高分辨率的抗蝕劑。 因此，為了生產(chǎn)具有增強(qiáng)的分辨率和期望的性能的抗蝕劑，已開(kāi)發(fā)出了大量不同的產(chǎn)酸劑，并且為了改善透明度和酸的擴(kuò)散率，在用作產(chǎn)酸劑的鹽的陽(yáng)離子部分的設(shè)計(jì)中已經(jīng)進(jìn)行了許多改變和實(shí)驗(yàn)，所...
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