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基于狹縫結(jié)構(gòu)的硅光波導(dǎo)偏振分離器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2741687

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本發(fā)明涉及一種光通信器件,特別是涉及一種基于狹縫結(jié)構(gòu)的硅光波導(dǎo)偏 振分離器。 背景技術(shù)光波導(dǎo)偏振分離器是現(xiàn)代集成光學(xué)及光通信系統(tǒng)的重要器件之一,特別應(yīng) 用于輔助單一偏振模式的器件的工作。光波通過偏振分離器后,僅允許橫電模(TE)或橫磁模(TM)傳輸,而其他模式全部截止。目前已實現(xiàn)的偏振分離器 包括金屬包層偏振分離器、雙折射偏振分離器等等。但是金屬包層的結(jié)構(gòu)會導(dǎo) 致很大的插入損耗;而雙折射結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜且器件長度較長,通常在毫米量級。硅材料(主要是SOI材料)...
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