技術編號：2741082
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及用于光清洗、uv (紫外線)硬化、光化學反應、粘結等的曝光裝置。 背景技術以往，用于光清洗、uv硬化、光化學反應、粘結等的曝光裝置在密閉容器內具有放電燈，該密閉容器在一個面上具有窗部件，所述曝光裝置將 從所述放電燈發(fā)出的所需波長區(qū)域的光從窗部件導向被處理物的表面，在 被處理物的表面上通過光化學反應進行處理。例如，光清洗用曝光裝置是 除去粘附于液晶面板表面的有機物、無用的抗蝕劑等雜質的裝置，隨著作 為被處理物的液晶面板的大型化，在其制造工序中使用的...
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