技術(shù)編號：2739954
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微裝置的制造，特別地，涉及具有鏡面的微裝置的制造。背景技術(shù)可利用具有反射面的可傾斜鏡板的陣列來構(gòu)造空間光調(diào)制器(SLM)。通過靜電力的作用，每個鏡板可以繞著軸線傾斜到"開"位 置和"關(guān)，，位置。靜電力可以通過鏡板與位于鏡板下方的電極之間的 電勢差產(chǎn)生。在"開"位置，微鏡板可反射入射光以便形成顯示圖象 中的指定像素。在"關(guān)，，位置，微鏡板可引導(dǎo)入射光遠(yuǎn)離顯示圖象。 在"開"或"關(guān)"位置，鏡板可以通過機(jī)械止擋器來保持。發(fā)明內(nèi)容根據(jù)一個總的方面，描述了...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。