技術(shù)編號：2730009
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于一種清洗平板顯示(Flat Panel Display)裝置用的面 板基板等的基板清洗裝置、基板清洗方法以及使用這些基板清洗裝置及基 板清洗方法的基板制造方法，本發(fā)明尤其關(guān)于一種使用刷子(brush)且對 于清洗大型基板較好的基板清洗裝置、基板清洗方法以及使用這些基板清 洗裝置及基板清洗，法的基板制造方法。背景技術(shù)在液晶顯示裝置或等離子顯示裝置等各種平板顯示裝置用的面板基板 的制造工序中，利用顯影或蝕刻等藥液處理，在基板上形成電路圖案或彩 色濾...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。