技術編號：2728490
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及構圖基板的方法和裝置，更特別地，涉及用于從圖案化基板分離壓模的方法和裝置。背景技術 納米壓印技術在過去十年中迅速發(fā)展，且提供了納米尺寸結構的復制的希望之路。技術改善已經惠及若干正在成長的工業(yè)，包括集成電路(IC)、微機電系統(tǒng)(MEMS)、以及磁存儲介質。然而，復制微小結構遇到了提升壓印工藝必須克服的若干問題。例如，諸如摩擦力和粘合力的力必須被克服以實現(xiàn)最佳結果。另外，需要不昂貴的機械裝置和簡單的方法來推進壓印工藝且使該工藝更節(jié)約成本。已經提出了壓...
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