技術(shù)編號：2727253
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總地涉及納米壓印，更特別地，涉及為制造光聚物納米壓印壓模(stamper)提供非接觸漫射曝光的改進(jìn)的系統(tǒng)、方法和裝置。背景技術(shù) 納米壓印是使圖案化記錄介質(zhì)的概念成為產(chǎn)品的最可行技術(shù)。然而，由于制造母模(master)的極高成本，使用原始母模直接壓印以批量制造盤拷貝(replica)有壽命限制。還會有在壓印操作期間損壞原始母模的高風(fēng)險?？朔@些問題的一種方法是使用“子母模(daughter master)”，其中盤拷貝壓印分為兩個階段。在第一階段，原始...
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