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用于使物體以二自由度傾斜的微機(jī)電裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2725549

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本發(fā)明涉及一種用于使物體以二自由度傾斜的微機(jī)電裝置,并涉及包 括用于使物體傾斜的微機(jī)電裝置的光學(xué)掃描裝置。背景技術(shù)諸如掃描儀、用于光網(wǎng)絡(luò)的光學(xué)耦合器、投影顯示器等的光學(xué)裝置往 往需要將具體為偏轉(zhuǎn)鏡的光學(xué)元件分別驅(qū)動(dòng)或傾斜的裝置,如用于將光束反射偏轉(zhuǎn)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。目前基本上有兩種類型的傾斜偏轉(zhuǎn)鏡裝置,即諧振型和開(kāi)環(huán)控制型。 諧振型偏轉(zhuǎn)鏡裝置用于諸如顯示器等的掃描設(shè)備。反射鏡在懸起狀態(tài)可作為彈簧上的質(zhì)點(diǎn),導(dǎo)致機(jī)械自然頻率。由于這些反射鏡被彈性懸起,...
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