技術(shù)編號:2723469
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型提供一種硅基光調(diào)制器,至少包括脊型波導(dǎo),包括平板部和位于所述平板部中間,且高于所述平板部的凸條;所述脊型波導(dǎo)中包括第一輕摻雜區(qū)和第二輕摻雜區(qū),第一輕摻雜區(qū)包括形成在凸條中間,且沿著所述凸條的延伸方向的縱向第一輕摻雜區(qū)和至少一個形成在所述凸條和所述平板部上,且與所述凸條相交的橫向第一輕摻雜區(qū);第二輕摻雜區(qū)和第一輕摻雜區(qū)的摻雜類型相反,且形成于第一輕摻雜區(qū)外側(cè)的凸條和平板部中,以與第一輕摻雜區(qū)構(gòu)成橫向和縱向的PN結(jié)。本實用新型的技術(shù)方案中提供的硅基光...
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