技術(shù)編號：2719621
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種平面電動機驅(qū)動的粗微動一體掩模臺，該粗微動一體掩模臺包括粗微動一體掩模臺動臺、平衡質(zhì)量、驅(qū)動電動機、掩模板、基座、隔振系統(tǒng)及測量系統(tǒng)；隔振系統(tǒng)位于平衡質(zhì)量與基座之間，掩模板安裝在粗微動一體掩模臺動臺上；掩模臺動臺的驅(qū)動電動機為動鐵式平面電動機，該平面電動機動子為安裝在粗微動一體掩模臺動臺頂面的永磁體陣列，平面電動機定子為安裝在平衡質(zhì)量上的線圈陣列。本實用新型可降低掩模臺動臺驅(qū)動電動機的設(shè)計復(fù)雜性；與直線電動機相比，平面電動機能夠提供更多方向的推力，減少...
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