技術(shù)編號：2711820
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種反射鏡單元，包括反射鏡；多個非接觸型致動器，所述非接觸型致動器包括可移動元件和定子并且被構(gòu)造成用于改變所述反射鏡的形狀；支撐板，所述定子被固定至所述支撐板；以及被構(gòu)造成用于保持所述反射鏡和所述支撐板的構(gòu)件。所述可移動元件被附連至所述反射鏡的與光學(xué)表面相反的表面，并且所述構(gòu)件經(jīng)由運(yùn)動學(xué)支架保持所述支撐板。以及一種曝光裝置。專利說明反射鏡單元和曝光裝置 [0001] 本發(fā)明涉及一種可變形的反射鏡單元，所述反射鏡單元能夠校正曝光裝置、天文 望遠(yuǎn)鏡等裝置...
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