技術(shù)編號(hào)：2711141
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微納米級結(jié)構(gòu)材料和器件的加工，尤其涉及一種。本發(fā)明解決現(xiàn)有的壓印設(shè)備在熱壓印大面積的被壓印物時(shí)存在被壓印物成型質(zhì)量差的問題。本發(fā)明的壓板由加壓裝置驅(qū)動(dòng)，支撐板被彈性元件頂?shù)智蚁拗圃趯?dǎo)柱的長度范圍內(nèi)移動(dòng)，壓板上固定有由壓模與被壓印物貼合形成的壓印組件，只要使用加壓裝置，再配合彈性元件，即可讓支撐板與壓板實(shí)現(xiàn)靠近或分離，而壓模與被壓印物相抵實(shí)現(xiàn)壓印。該壓印設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單、操作方便而且成型質(zhì)量好，能夠?qū)崿F(xiàn)特征尺寸20nm到2000nm的圖形轉(zhuǎn)移，適于大量...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。