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正型感光性樹脂組合物及其圖案形成方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2711135

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本發(fā)明涉及一種正型感光性樹脂組合物,包含酚醛清漆樹脂(A)、鄰萘醌二疊氮磺酸類的酯化物(B)、還原防止劑(C)以及溶劑(D)。其中,所述鄰萘醌二疊氮磺酸類的酯化物(B)是將鄰萘醌二疊氮磺酸化合物與羥基化合物溶于有機溶劑中,并以胺類化合物作為縮合劑,經(jīng)縮合反應(yīng)而得,且于正型感光性樹脂組合物中,該胺類化合物的殘留量為1ppm至50ppm。本發(fā)明還涉及使用該組合物圖案形成方法。專利說明 [0001]本發(fā)明是有關(guān)一種正型感光性樹脂組合物及使用該組合物形成圖案...
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