技術(shù)編號(hào):2709624
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種光刻設(shè)備包括被構(gòu)造為支撐圖案形成裝置(5)的圖案形成裝置支撐件,圖案形成裝置能夠在輻射束的截面中施加圖案以形成圖案化的輻射束,圖案形成裝置支撐件包括相對(duì)于物體可移動(dòng)地設(shè)置的可移動(dòng)結(jié)構(gòu)(3),相對(duì)于可移動(dòng)結(jié)構(gòu)可移動(dòng)地設(shè)置并且被配置用于保持圖案形成裝置的圖案形成裝置保持器(4),配置用于相對(duì)于物體移動(dòng)可移動(dòng)結(jié)構(gòu)(3)的致動(dòng)器(8),以及被配置用于相對(duì)于可移動(dòng)結(jié)構(gòu)(3)移動(dòng)圖案形成裝置保持器(4)的超短沖程致動(dòng)器(9);被構(gòu)造為保持襯底(W)的襯底支撐件(W...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。