技術編號：2709418
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供一種可獲得感光度高、透明性高、耐化學品性高、硬化膜與基板的密接性高、耐干式蝕刻性優(yōu)異、介電常數(shù)低的硬化膜的感光性樹脂組合物。所述感光性樹脂組合物包括(A)含有滿足下述(1)及下述(2)的至少一個的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保護的殘基的構成單元、及(a2)含有交聯(lián)性基的構成單元的聚合物，(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保護的殘基的構成單元的聚合物、及具有(a2)含有交聯(lián)性基的構成單元的聚合物；(B)光酸產(chǎn)生劑；...
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