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基板上的圖案形成方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2703319

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一種,包括將多片基板貼附于承載板上,且基板彼此分離。擷取貼附有基板的承載板的參考影像。對(duì)參考影像進(jìn)行影像處理以獲得基板的處理信息。使用激光記憶曝光機(jī)根據(jù)基板的處理信息對(duì)基板進(jìn)行曝光步驟。專利說(shuō)明[0001]本發(fā)明涉及一種基板上的圖案形成(patterning)方法,特別是涉及一種使用激光記憶曝光機(jī)的。背景技術(shù)[0002]在一般半導(dǎo)體工藝中,微影工藝(photolithography)可以說(shuō)是最舉足輕重的步驟之一。這是由于凡是與半導(dǎo)體元件結(jié)構(gòu)相關(guān)者,例如各層...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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