技術(shù)編號(hào)：2698721
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光刻機(jī)的成像質(zhì)量檢測(cè)，尤其涉及利用測(cè)試標(biāo)記檢測(cè)光刻機(jī)成像質(zhì)量的方法。背景技術(shù) 光刻機(jī)軸向像質(zhì)參數(shù)主要包括最佳焦面偏移、像面傾斜、物鏡像散、物鏡球差等參數(shù)。光刻機(jī)軸向像質(zhì)參數(shù)是影響光刻分辨率的關(guān)鍵因素。隨著光刻分辨率的不斷提高，光刻機(jī)軸向像質(zhì)參數(shù)對(duì)光刻分辨率的影響越來越明顯。因此，對(duì)光刻機(jī)軸向像質(zhì)參數(shù)的檢測(cè)，分析與校正已成為保證光刻機(jī)光刻分辨率滿足要求的重要手段。FOCAL(Focus calibration using alignment pro...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。