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掩模板、曝光系統(tǒng)和曝光方法技術資料下載

技術編號:2690346

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本發(fā)明涉及顯示,特別涉及一種。背景技術薄膜晶體管液晶顯不器(ThinFilm Transistor Liquid Crystal Display,TFT-LCD)在當前的顯示領域中占據(jù)了主導地位,其產(chǎn)品具有體積小、功耗低、無輻射、分辨率高等優(yōu)點,已經(jīng)被廣泛應用于現(xiàn)代數(shù)字信息化設備中。TFT-1XD是由陣列基板和彩膜基板對盒而成,在陣列基板上形成有相互交叉定義出像素區(qū)域的柵線和數(shù)據(jù)線,在各種像素區(qū)域中形成有像素電極和薄膜晶體管;在彩膜基板上形成有黑矩陣和彩色...
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