技術(shù)編號：2689943
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域,涉及一種基于法布里-拍羅腔以及MEMS技術(shù)的可調(diào)濾波器以及非色散氣體探測器。背景技術(shù)以非色散紅外氣體傳感器(NDIR)為代表的以探測氣體吸收光輻射為基本原理的氣體探測器，是利用待測氣體在特征吸收譜線對輻射的吸收，從而檢測出氣體的種類、濃度等信息的一類傳感器。非色散紅外氣體傳感器具有靈敏度高、選擇性好、響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)，越來越廣泛地應(yīng)用到各個工農(nóng)業(yè)領(lǐng)域。以紅外光作為探測光線為例，非色散紅外氣體傳感器的基本構(gòu)成包括紅外...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。