技術(shù)編號(hào)：2688357
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及曝光裝置，更詳細(xì)來說，涉及能夠減小使移動(dòng)臺(tái)向相對于臺(tái)面垂直的方向移動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生的、在移動(dòng)臺(tái)的臺(tái)面上的位置偏移量的曝光裝置。背景技術(shù)曝光裝置在印制電路板或液晶面板等(以下也稱為工件)的制造工序中用于配線等的圖案形成。在圖6中示出上述曝光裝置的結(jié)構(gòu)例。圖6所示的曝光裝置，示出具備投影透鏡、通過該投影透鏡將掩模的圖案投影到工件上來曝光的投影曝光裝置，該圖所示的裝置示出如下投 影曝光裝置在工件W的背面形成校準(zhǔn)標(biāo)記，將該工件背面的校準(zhǔn)標(biāo)記(以下稱為工件標(biāo)記W...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。