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一種無(wú)橫梁連接雙邊驅(qū)動(dòng)工件臺(tái)的定位對(duì)準(zhǔn)裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2686374

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本發(fā)明涉及一種定位對(duì)準(zhǔn)裝置,尤其涉及一種無(wú)橫梁連接的雙邊驅(qū)動(dòng)工件臺(tái)的定位對(duì)準(zhǔn)裝置,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻設(shè)備中,屬于超精密加工和檢測(cè)設(shè)備。背景技術(shù)具有高精度、高速度的雙邊驅(qū)動(dòng)工件臺(tái)在現(xiàn)代制造工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。雙邊驅(qū)動(dòng)的工件臺(tái)可分為兩種形式,分別是有橫梁連接工件臺(tái)和無(wú)橫梁連接工件臺(tái)。本文所述針對(duì)無(wú)橫梁連接的雙邊驅(qū)動(dòng)工件臺(tái),結(jié)構(gòu)如圖I所示,左右工件臺(tái)分別采用直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),并由氣浮軸承支撐和導(dǎo)向,在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中,左右工件臺(tái)在對(duì)準(zhǔn)后,同步運(yùn)動(dòng),進(jìn)而帶動(dòng)負(fù)載做超精密...
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