技術(shù)編號：2685833
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于超精密加工和半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體涉及ー種六自由度磁浮微動(dòng)臺。背景技術(shù)高精度、高響應(yīng)的微動(dòng)臺是超精密加工和半導(dǎo)體制造裝備的核心部件之一，在現(xiàn)代制造技術(shù)中具有極其重要的地位。在超精密加工機(jī)床中，超精密微動(dòng)臺用于對進(jìn)給系統(tǒng)進(jìn)行誤差補(bǔ)償，實(shí)現(xiàn)精密定位；在大規(guī)模集成電路制造中，超精密微動(dòng)臺用于光刻設(shè)備中進(jìn)行微定位和微進(jìn)給；此外，超精密微動(dòng)臺還被廣泛應(yīng)用于MEMS系統(tǒng)加工、封裝及裝配，光纖對接，以及原子力顯微鏡等領(lǐng)域中。由于目前超精密加工設(shè)備的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)大多采...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。