技術(shù)編號：2684454
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及壓印光刻。 背景技術(shù)光刻設(shè)備是一種將所需的圖案施加至基板的目標部位上的機器。光刻設(shè)備通常例如用于制造集成電路(IC)、平板顯示器以及其他包含精細結(jié)構(gòu)的設(shè)備。人們希望能夠降低光刻圖案中特征部的尺寸，因為這樣就能在給定的基板面積上得到更大密度的特征部。在光刻中，通過使用較短波長的輻射可以得到更高的分辨率。然而，存在許多與這種尺寸減小相關(guān)的問題。當(dāng)前的系統(tǒng)將開始采用波長在193nm波段內(nèi)的光源，然而即使在這個波段內(nèi)，衍射限制也成為一種障礙。在低波長時，...
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