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一種白光干涉位移傳感器中楔形膜及其制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2683473

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本發(fā)明涉及楔形膜制作的,特別涉及。背景技術(shù)現(xiàn)有技術(shù)1 采用鍍介質(zhì)膜的方法制作楔形膜。該方法的工藝過(guò)程是首先,在光學(xué)基板上鍍制半透半反膜,然后在半透半反膜上鍍楔形介質(zhì)膜,最后在介質(zhì)膜上鍍一層半透半反膜,從而形成斐索干涉儀中的楔形膜。該方法的缺點(diǎn)是一、鍍厚度在5μπι-40μπι間線性變化的介質(zhì)膜,其控制難度大,成功率低;二、厚度較厚的介質(zhì)膜由鍍膜機(jī)的真空環(huán)境中取出時(shí),在空氣中受到濕度和內(nèi)應(yīng)力的影響,容易產(chǎn)生褶皺而損壞;三、鍍制介質(zhì)膜的設(shè)備昂貴,鍍40 μ m...
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