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成像光學(xué)系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2682612

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本發(fā)明涉及用于投射曝光系統(tǒng)的成像光學(xué)系統(tǒng),用于投射曝光系統(tǒng)的照明光學(xué)系統(tǒng)和具有該類型成像光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)系統(tǒng)。本發(fā)明還涉及具有該類型光學(xué)系統(tǒng)的投射曝光系統(tǒng),用于投射曝光系統(tǒng)的掩模母版,借助于該投射曝光系統(tǒng)而制造微結(jié)構(gòu)化組件的方法和通過(guò)該方法制造的組件。背景技術(shù)從DE102007062198A1、US7, 414,781B2、US7, 682,031B2,以及從 W02010/091800A1可獲知成像光學(xué)系統(tǒng)。從US2008/0036986A1可獲知光刻系統(tǒng)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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