技術(shù)編號：2681679
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種大型膜用框體，其用于防止異物附著于在制造例如IC(Integrated Circuit 集成 電路)、LSI (Large Scale Integration 大型集成電路)、TFT型 LCD (Thin Film Transistor, Liquid Crystal Display 薄膜晶體管液晶顯不器)等半導(dǎo)體裝置時的光刻工序中使用的光掩模、標(biāo)線片(> ^ ^ ^ 上。背景技術(shù)以往，在制造半導(dǎo)體電路圖案等的過程中，在光掩模、標(biāo)線片的...
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