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四棱錐形微結(jié)構(gòu)陣列的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2676195

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本發(fā)明涉及一種微透鏡陣列的制作方法,特別是一種。背景技術(shù) 四棱錐微結(jié)構(gòu)陣列由于其特殊的結(jié)構(gòu)特征,可作為溯源反光元件和分光元件,在民用以及軍用科研等領(lǐng)域具有非常好的應(yīng)用前景。但采用現(xiàn)有的微細(xì)加工方法不僅會(huì)帶來嚴(yán)重的高頻損失,而且還會(huì)導(dǎo)致微結(jié)構(gòu)的低頻部分產(chǎn)生嚴(yán)重的失真。由于制作的元件存在一定的缺陷,所以一直難以成為有價(jià)值的器件。后來,2000年10月出版的《光電工程》27卷第5期19頁中公開用于微細(xì)加工的移動(dòng)掩模法,該方法主要是通過在曝光過程中移動(dòng)掩模,對(duì)光致...
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