技術(shù)編號：2674053
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及光通信用發(fā)射模塊，更具體地說，是涉及基于垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)列陣的并行光發(fā)射模塊及制作方法。背景技術(shù) 傳統(tǒng)光發(fā)射模塊的光源采用的都是邊發(fā)射激光器。邊發(fā)射激光器的特點是輸出光垂直于解理面，其光束發(fā)散角過大，且在芯片解理前，不能進行單個器件的基本性能測試，不易實現(xiàn)大規(guī)模集成，制造成本高。與之相比，垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)具有非常優(yōu)越的性能和及其低廉的價格。其輸出光垂直于襯底，這種獨特的表面發(fā)光器件結(jié)構(gòu)具有小發(fā)散角和對稱的遠近場分布...
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