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一種合成曝光法制作中階梯光柵的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2673969

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本發(fā)明涉及光柵制作,具體講就是涉及一種以傅里葉合成曝光為基礎(chǔ)制作中階梯光柵的方法。背景技術(shù)中階梯光柵是一種特殊的衍射光柵,它以較高的衍射級(jí)次和較大的衍射角工作, 具有高色散、高分辨率、全波長(zhǎng)閃耀的特性,經(jīng)光柵或棱鏡對(duì)級(jí)次重疊的中階梯光柵光譜進(jìn)行二次色散后可形成二維面陣光譜,適于面陣檢測(cè)器接收。與常規(guī)光譜儀相比,它具有檢出限低、波段寬、無(wú)移動(dòng)部件、結(jié)構(gòu)緊湊、無(wú)需多次掃描曝光便可實(shí)現(xiàn)多元素光譜的瞬態(tài)測(cè)量特點(diǎn),有利于實(shí)現(xiàn)光譜儀器的高度智能化和自動(dòng)化,代表了先進(jìn)光...
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