技術(shù)編號：267
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種具有過渡結(jié)構(gòu)部分的盤形渦輪復(fù)合分子泵。現(xiàn)有分子泵的結(jié)構(gòu)有兩種基本類型一種是分子拖動型分子泵，如盤形分子泵。這類泵主要由一高速旋轉(zhuǎn)的平板圓盤和一在盤面上開有若干個特定線形抽氣溝槽的定圓盤組成。這類泵的壓縮比較高，但抽速偏低。另一種是渦輪分子泵，這類泵裝有軸向交錯排列的各級渦輪動片和渦輪靜片。這種泵在壓強(qiáng)低于10-3毫巴的分子流真空狀態(tài)下工作時具有較大的抽速和較高的壓縮比，但在10-2-1.0毫巴的壓強(qiáng)范圍內(nèi)工作時，抽速和壓縮比都下降較大。隨著一些新興高技術(shù)的出現(xiàn)，對真空泵提出了新的要求，即要求真空泵不但...
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