技術(shù)編號(hào):2664670
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明大體來(lái)說(shuō)涉及半導(dǎo)體處理,且更特定來(lái)說(shuō),涉及位于光致抗蝕劑層上方的 金屬層的平坦化,尤其是數(shù)字微鏡或類似裝置的制造。背景技水?dāng)?shù)字微鏡裝置(DMD)是一種微電機(jī)系統(tǒng)(MEMS)裝置。 一種典型的DMD裝 置(例如可從美國(guó)德克薩斯州(Texas)達(dá)拉斯市(Dallas)的德州儀器(Texas Instruments) 獲得的DLptm裝置)包括與成像系統(tǒng)的像素位置相對(duì)應(yīng)呈一陣列定位的多種微鏡元件。 這種裝置可與圖像處理組件、存儲(chǔ)器、光源及光學(xué)器件結(jié)合以形成...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。