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光致抗蝕劑上方的金屬層的平坦化的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2664670

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本發(fā)明大體來(lái)說(shuō)涉及半導(dǎo)體處理,且更特定來(lái)說(shuō),涉及位于光致抗蝕劑層上方的 金屬層的平坦化,尤其是數(shù)字微鏡或類似裝置的制造。背景技水?dāng)?shù)字微鏡裝置(DMD)是一種微電機(jī)系統(tǒng)(MEMS)裝置。 一種典型的DMD裝 置(例如可從美國(guó)德克薩斯州(Texas)達(dá)拉斯市(Dallas)的德州儀器(Texas Instruments) 獲得的DLptm裝置)包括與成像系統(tǒng)的像素位置相對(duì)應(yīng)呈一陣列定位的多種微鏡元件。 這種裝置可與圖像處理組件、存儲(chǔ)器、光源及光學(xué)器件結(jié)合以形成...
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