技術(shù)編號(hào)：2572242
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。用于將數(shù)據(jù)寫入到微機(jī)電系統(tǒng)顯示元件的方法和系統(tǒng)無背景技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)包含微機(jī)械元件、激活器和電子元件。可使用沉積、蝕刻和/ 或其它蝕刻掉襯底和/或已沉積材料層的部分或者添加層以形成電裝置和機(jī)電裝置的微 加工工藝來產(chǎn)生微機(jī)械元件。 一種類型的MEMS裝置稱為干涉式調(diào)制器。如本文所使用， 術(shù)語干涉式調(diào)制器或干涉式光調(diào)制器指的是一種使用光學(xué)干涉原理選擇性地吸收且/或 反射光的裝置。在某些實(shí)施例中，干涉式調(diào)制器可包括一對導(dǎo)電板，其中之一或兩者可 能整體或...
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