技術編號：2514889
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供一種。本發(fā)明液體噴射裝置的制造方法包括在基板上蝕刻形成凹槽；在所述凹槽內(nèi)形成犧牲層，所述犧牲層與基板的表面平齊；在所述犧牲層上形成彈性膜，以使所述彈性膜搭接在所述凹槽的邊緣，并部分覆蓋所述凹槽的敞口，所述彈性膜在外力作用下能產(chǎn)生彈性變形；去除所述犧牲層。本發(fā)明通過電鍍法形成的犧牲層具有耐高溫、沉積速度快且容易去除等特點，避免傳統(tǒng)方法使用的犧牲層材料去除速度慢以及高溫下容易變形而導致橋式結(jié)構的變形等問題，使制備的橋式結(jié)構形成速度快且結(jié)構平坦，優(yōu)化了...
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