技術(shù)編號(hào)：2483469
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及液體吐出頭用噴嘴板的制造方法、液體吐出頭用噴嘴板及液 體吐出頭。背景技術(shù)近年來，要求高速、高分辨率的噴墨式打印機(jī)印刷。用于這種打印機(jī)的 噴墨式記錄頭，其構(gòu)成部件的形成方法采用以硅基板等為對(duì)象的半導(dǎo)體工 序，它是一種微機(jī)械領(lǐng)域的細(xì)微加工技術(shù)。因此，有許多建議在硅基々反上實(shí) 施蝕刻以形成細(xì)微構(gòu)造的方法。其中，周知的有如下所述在硅基板上實(shí)施蝕 刻形成噴墨式記錄頭噴嘴的方法。(1) 在硅單結(jié)晶基板的表面形成抗蝕膜，去掉與噴嘴后端側(cè)對(duì)應(yīng)部分 的抗蝕膜形成第...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。