技術(shù)編號：2459026
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及ー種透明性、氣體遮斷性等各種特性優(yōu)異的薄膜的制造方法、適合形成該薄膜的共蒸鍍用蒸鍍材、通過該方法得到的氧化物薄膜、具備該薄膜的薄膜片及層疊片。更詳細(xì)而言，涉及這些各種特性優(yōu)異，尤其適合作為液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器、等離子顯示器或太陽能電池模塊等氣體遮斷性材料的薄膜的制造方法、適合形成該薄膜的共蒸鍍用蒸鍍材、通過該方法得到的氧化物薄膜、具備該薄膜的薄膜片及層疊片。背景技術(shù)液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器或太陽能電池等設(shè)備通常經(jīng)不起濕氣，使其特性因吸濕而...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。